9.3 UMC-750P - MRZP WIPS 偏置设置

在执行此过程之前，需要校准探测系统。

宏变量 #10300; #10301; #10302; #10303; #10304; #10305 应设置为零。

工件偏置 G154 P80 / G154 P81 / G154 P82 用于存储探测信息，请确保在启动该过程之前清除这些信息。

需要启用 TCPC/DWO。

如图片所示，设置项目。对于 B 轴 [1] 和 A 轴 [2]。

建议的探测位置为:

• 对于 B 轴: B-20°，B 0°，B+20°。
• 对于 A 轴: A 0°，A+90°A+180°

对每个旋转轴执行以下步骤。如果在此过程中出现警报，请参阅文档末尾的故障排除部分。

设置项目。

把工件测头置于主轴中。

将校准球体组件安装到盘片上。请参阅位置的先决条件。

注意： 您将在 3 个不同位置旋转球体 3 次。尝试以不同角度运行探测循环时，请确保球体将保持在 XYZ 焦油限制内。

在第一个循环的位置中旋转旋转轴

点动 X 和 Y 轴将探针尖端与 0.1" 内的球体中心校准。

转动 Z 轴，使探头尖端远离球体表面 0.25。

生成程序。

按 EDIT 并光标指向 VPS 选项卡。

导航到 MRZP 校准文件夹: 探针➡校准 ➡ MRZP 校准。

打开 A、B 或 C 单轴粗糙并完成 MRZP 集 模板。

在模板中， 步骤 #1， 步骤 #2， 步骤 #3 是有关如何运行探测周期的说明。

光标向下到 B 并进入校准球体直径。

按 Cycle Start 以在 MDI 或 F4 中运行计划，并提供更多选项。

运行探测周期。

在第一位置使用旋转运行探测循环

完成第一个循环后，将旋转旋转旋转到第二个位置。

点动 X 和 Y 轴将探针尖端与 0.1" 内的球体中心校准。

转动 Z 轴，使探头尖端远离球体表面 0.25。

再次运行同一程序。

完成第二个循环后，旋转旋转到第三个位置。

点动 X 和 Y 轴将探针尖端与 0.1" 内的球体中心校准。

转动 Z 轴，使探头尖端远离球体表面 0.25。

第三次运行同一程序。

在最后一个探测周期 Z 轴将发送到 Home 位置后，控件将 MRZP 偏移输出到宏可病毒项中。

输入 MRZP 设置。

该控件将根据旋转设置配置计算和输出主旋转或从旋转的旋转零旋转点到宏变量中。

您无需指定运行 MRZP 的轴。该控件将根据 3 个探测周期的结果填充 MRZP 宏。例如:如果在 3 个探针循环期间，球体中心的旋转位置 Y 和 Z 坐标已更改，并且 X 轴坐标保持在 0.002" 内 然后旋转围绕 X 轴旋转。

将宏变量中的值输入到设置中，如下所示:

• 宏变量 #10300 表示设置 300 MRZP X 偏置主机
• 宏变量 #10302 表示设置 302 MRZP Z 偏置主机
• 宏变量 #10304 表示设置 304 MRZP Y 偏置
• 宏变量 #10305 表示设置 305 MRZP Z 偏置